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原子层沉积阀

世伟洛克(Swagelok)是半导体芯片制造应用的全球技术领导者和解决方案提供商,也是ALD阀门技术的鼻祖。我们的ALD超高纯度UHP阀门具有以下特点

  • 超高速循环寿命,高速执行
  • C从到
  • 使用热执行器完全浸入到F C
  • 适用于标准L VIM VAR不锈钢阀体的UHP应用
  • 模块化表面安装管对接焊和VCR®终端连接
  • 电子或光学执行器位置感应选件

bet赌博商店ALD阀

bet赌博ALD和ALD UHP隔膜阀

ALD和ALD目录

ALD隔膜阀可提供超高循环寿命,高速致动和流量系数,以及热致动器位置传感器和螺线管,可在原子层沉积应用中实现最佳性能

技术指标

工作压力 真空至psig bar
爆破压力 psig酒吧
驱动压力 至psig至bar
温度 从F到C
流量系数C) 要么
车身材料 L VIM VAR不锈钢
膜片材质 钴基高温合金
终端连接
字号 女录像机®面密封件适合
插入式VCR面密封件
模块化表面安装高流量C密封件

适用于高流量应用的ALD UHP阀

ALD目录

ALD UHP阀门是世伟洛克ALD产品系列的最新成员。正在申请专利的设计允许使用具有挑战性的低蒸气压前体。ALD具有超高纯度的波纹管,与其他ALD阀相比,可促进清洁操作并提高流量

另外,ALD阀可以完全热浸在气箱中,并从F C加热到F C

技术指标

工作压力 真空至psig bar
爆破压力 psig酒吧
驱动压力 至psig至bar
温度 从F到C
流量系数C) MSM或直纹
车身材料 L VIM VAR或合金
波纹管材料 合金μinR一种完了
终端连接
字号 女录像机®适合
旋转式VCR公接头
管对接焊缝在x in长
模块化表面安装高流量C密封件

突破ALD技术的极限

下载ALD超高纯阀目录

问题找到销售和服务中心.

安全选择产品必须检查完整的目录内容,以确保系统设计人员和用户进行安全的产品选择。选择产品时,必须考虑整个系统的设计,以确保安全无故障的性能。功能材料的兼容性要有足够的额定值,以确保正确的安装操作和维护。系统设计者和用户的责任

注意请勿将互换世伟洛克的两个套圈管接头端部连接组件或不受工业设计标准约束的其他产品与其他制造商的产品混合使用