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高纯过滤器

高纯过滤器

  • 符合SEMI E SCF系列的严格超高纯气体系统过滤要求
  • 具有直插式全焊接结构的FW系列

所有焊接的在线过滤器FW系列

技术指标

工作压力 最高psig bar
不同的压力 最高psi bar
温度 从F到C
主体材质 不锈钢
元件
材料 烧结L不锈钢或打孔网状不锈钢
标称孔径 到微米
终端连接
类型 世伟洛克卡套管接头NPT VCR®面密封配件
尺寸 以毫米为单位

超高纯超高压气体过滤器SCF系列

技术指标

工作压力 最高psig bar
不同的压力 最高psi bar
温度 高达F C
最大流量 标准差
主体材质 L VAR不锈钢
内部表面光洁度 电抛光µin µm Ra
元件
材料 高纯氧化铝
清除等级 在µm
终端连接
类型 VCR面密封配件
尺寸 和在

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